Система диффузионная однозонная многотрубная, СДОМ

Назначение: Система предназначена для автоматической групповой газотермической прецизионной обработки пластин кремния диаметром 100 мм при производстве изделий полупроводниковой электроники.

Тип печи: Трехтрубная (двухтрубная) газонаполненная электропечь периодического действия с однозонным прецизионным регулированием температуры и горизонтально-расположенным загрузочным устройством.

Основные преимущества:

Устройство загрузочное
Электропечь диффузионная однозонная (двухтрубная/трехтрубная)
Устройство газораспределения
Устройство программного управления
Наименование параметра Значение
Диапазон рабочих температур в тепловой зоне реактора, °С
700-1300
Количество реакторов (труб), шт

2 (для СД.ОМ-2/100-2М)
3 (для СД.ОМ-3/100-2М)
Диаметр кварцевого реактора (трубы), мм, не более

150
Диаметр обрабатываемых пластин, мм, не более

100
Длина рабочей тепловой зоны, мм, не менее

600
Нестабильность поддержания температуры по опорной точке в пределах длины рабочей тепловой зоны при статическом режиме в реакторе (среднеквадратическое отклонение) в течение 24 часов, °С, не более 0,25
Максимальная потребляемая электрическая мощность, кВт, не более 100 Более подробную информацию о товаре вы можете уточнить у менеджеров компании. Мы всегда рады проконсультировать вас.